真空度：處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用真空度表示。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值，從表上表示出來的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng)，業(yè)界也稱為極限相對壓強(qiáng)，即： 真空度=大氣壓強(qiáng)-壓強(qiáng)(大氣壓強(qiáng)一般取101325Pa，水環(huán)式真空泵極限壓強(qiáng)3300Pa；旋片式真空泵極限壓強(qiáng)約10Pa)
極限相對壓強(qiáng)：相對壓強(qiáng)即所測內(nèi)部壓強(qiáng)比“大氣壓”低多少壓強(qiáng)。表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽，因此，內(nèi)部的壓強(qiáng)始終低于容器外部壓強(qiáng)。所以當(dāng)用相對壓強(qiáng)或者表壓強(qiáng)表示的時候，數(shù)值前面必須帶負(fù)號，表示容器內(nèi)部壓強(qiáng)比外部壓強(qiáng)低。
極限壓強(qiáng)：壓強(qiáng)即所測內(nèi)部壓強(qiáng)比”理論真空(理論真空壓強(qiáng)值為0Pa)”高多少壓強(qiáng)。它所比較的對象為理論狀態(tài)的真空壓強(qiáng)值。由于工藝所限，我們無論如何都不能將內(nèi)部壓強(qiáng)抽到真空0Pa這個數(shù)值，因此，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當(dāng)用真空表示時，數(shù)值前面無負(fù)號。
抽氣量：抽氣量是真空泵抽速的一個衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來表示。是彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。不難理解，理論下抽一個相同體積的容器，為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度，而抽氣量小的真空泵很慢甚至無法抽到我們想要的真空度?因?yàn)楣苈坊蛘呷萜魇冀K不可能做到不漏氣，而抽氣量大的彌補(bǔ)了漏氣所帶來的真空度下降的因素，所以，大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議，在計(jì)算出理論抽氣量的情況下，我們盡量選擇高一級的抽氣量的真空泵。
